无尘车间工程的“净”不是一句口号，而是一场与微米级颗粒的持久战。很多人以为把墙板拼严、地面刷亮、空调开大就能“无尘”，直到粒子计数器一测，0.5 μm 颗粒超标十倍，才意识到：真正的洁净度是算出来、做出来、测出来的，不是装修出来的。
第一步先算风
洁净度等级一旦确定，换气次数就板上钉钉：百级需要单向流 0.2–0.5 m/s 的面风速，相当于每小时把空气换掉 300 次以上；万级区域靠乱流稀释，换气也要 60 次左右。用 CFD 把颗粒轨迹跑一遍，就能在电脑里看见死角，提前把送风口挪 150 mm，后期调试可省三天时间。
第二步选过滤器
末端 HEPA 只认 H13 起步，效率 99.95%@MPPS，阻力 250 Pa 是新滤芯的甜蜜点；若工艺产热大，选低阻玻纤滤料，风机可降 0.3 kW，一年电费省出一台 FFU。别在预过滤上省钱，G4+F7 组合能把 1 μm 以上的粒子截掉九成，末端寿命直接翻倍，停工换滤网的损失远比一片 F7 贵。
第三步做围护
50 mm 厚双面宝钢 0.5 mm 彩钢板只是入门，芯材密度必须 ≥120 kg/m³，才能承受 1000 Pa 压差不变形。阴角全部内圆弧 R50，硅胶要打“双道”，先打一道等固化，再打第二道，杜绝温差裂缝。地板用 2 mm 环氧自流平配铜箔网，表面电阻 10⁶–10⁹ Ω，既能泄放静电，又经得起叉车轮胎的每天碾压。
第四步控温湿
芯片厂光刻区 22 °C ±0.3 °C、45 %RH ±3 % 是硬指标，靠干盘管+FFU 回风夹墙实现。干盘管进水 14 °C，出风 16 °C，没有冷凝水，也就没有了细菌滋生的温泉。再配一台转轮除湿机，把新风含湿量压到 4 g/kg，哪怕梅雨季室外 28 °C、90 %RH，室内仍旧稳如初见。
第五步保压差
不同区域之间 5–12 Pa 的压差梯度，是颗粒“单向流动”的护城河。门一打开，气流速度 0.2 m/s 往外吹，灰尘进不来。压差不是靠多送风，而是靠回风阀精调：每 50 Pa 阀门开度只转 8°，用电动执行器 1 % 的步进值，才能锁住梯度，不让“洁净走廊”变成“灰尘通道”。
第六步上监测
0.5 μm 与 5.0 μm 双通道粒子传感器装在关键工位，数据每 6 秒更新一次，超阈值先声光报警，再推送到手机。温湿度、压差、风机频率全部接入 BACnet 网关，值班人员在办公室就能看到百级区 FFU 的实时电流：电流升高 10 %，八成是滤网堵了，提前下单更换，半夜停产的尴尬就不会发生。
第七步做验证
ISO 14644-3 的 20 项测试一个都不能省：气流平行度用烟雾笔拍照，滤网扫描用 PAO 气溶胶，风量用电子风量罩，噪声用 1 级声级计。报告一次性通过第三方 NEBB，才算把“无尘”二字写进纸面，也写进客户心里的安全区。
技术说完，只剩一句：无尘车间工程不是豪华装修，而是精密工程。把颗粒当敌人，把风速当武器，把数据当通行证，才能在微米战场里赢得真正的“净”。
